低溫等離子體技術處理污染物的原理為：低溫等離子設備在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有有害物質轉變成無無害或低低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，低溫等離子設備適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有極強優勢的高新技術，等離子體受到了外廢氣治理方面的高度評價。